所属单位：机械工程学院
论文名称：Long stroke displacement measurement with reduced coupling error supporting high precision control of a beam flexure-based micro-stage
发表刊物：REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
第一作者：鲁帅帅
论文编号：F478F5B38B10470C8A084DF1CC66A03F
卷号：91
期号：7
是否译文：否
发表时间：2020-07-01