所属单位：材料科学与工程学院

论文名称：Low thermal budget lead zirconate titanate thick films integrated on Si for piezo-MEMS applications

发表刊物：MICROELECTRONIC ENGINEERING

第一作者：王莹莹

论文编号：5B1B635EA0894BF88D8EE307425270A2

卷号：219

字数：5522

是否译文：否

发表时间：2020-01

发布时间：2021-10-08