所属单位：材料科学与工程学院
论文名称：Low thermal budget lead zirconate titanate thick films integrated on Si for piezo-MEMS applications
发表刊物：MICROELECTRONIC ENGINEERING
第一作者：王莹莹
论文类型：基础研究
论文编号：5B1B635EA0894BF88D8EE307425270A2
卷号：219
字数：5522
是否译文：否
发表时间：2020-01-15
闫鹏教授
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Low thermal budget lead zirconate titanate thick films integrated on Si for piezo-MEMS applications
发布时间：2021-10-08|点击次数：