所属单位：机械工程学院

论文名称：Design and Modeling of Spatial Parasitic Compensation Mechanisms Supporting Triaxial Compliant Positioning Stages

第一作者：杨剑

论文编号：084A32271A95431C855D571011A94D52

字数：5000

是否译文：否

发表时间：2024-06-24