一种空间三维微位移精密定位装置

发布时间:2018-12-06|点击次数:

所属单位:机械工程学院

专利类型:发明

申请号:201410734788.9

发明人数:4

是否职务专利:否

申请日期:2014-12-04

公开日期:2017-04-12

授权日期:2014-12-04