一种真空镀膜系统的样品室结构

发布时间:2019-01-26|点击次数:

所属单位:材料科学与工程学院

申请专利人:闫鹏

专利类型:实用新型

申请号:201420804646.0

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2014-12-17

公开日期:2015-05-13

授权日期:2015-05-13