所属单位：机械工程学院
申请号：201710655583.5
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2017-08-03
闫鹏教授
暂无内容
面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置
发布时间：2019-01-26|点击次数：
- 上一条：
- 一种并联压电三维微伺服平台的结构
- 下一条：
- 基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台
暂无内容
所属单位：机械工程学院
申请号：201710655583.5
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2017-08-03