一种三自由度压电驱动微纳定位平台

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:机械工程学院

申请专利人:闫鹏

专利类型:发明

申请号:201610524011.9

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2016-07-04

公开日期:2018-04-27

授权日期:2018-04-27