专利名称:一种三自由度压电驱动微纳定位平台
所属单位:机械工程学院
专利类型:发明
申请号:201610524011.9
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2016-07-04
公开日期:2018-04-27
授权日期:2018-04-27
发布时间:2019-04-15
专利名称:一种三自由度压电驱动微纳定位平台
所属单位:机械工程学院
专利类型:发明
申请号:201610524011.9
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2016-07-04
公开日期:2018-04-27
授权日期:2018-04-27
发布时间:2019-04-15