所属单位：机械工程学院
申请专利人：闫鹏
专利类型：发明
申请号：201610919448.2
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2016-10-21
闫鹏教授
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一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法
发布时间：2019-04-15|点击次数：
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所属单位：机械工程学院
申请专利人：闫鹏
专利类型：发明
申请号：201610919448.2
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2016-10-21