面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:机械工程学院

申请专利人:闫鹏

专利类型:发明

申请号:201710655583.5

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2017-08-03

公开日期:2019-11-15

授权日期:2019-11-15