基于激光尺的检测方法的XYΘ微定位平台设计

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:机械工程学院

申请专利人:闫鹏

专利类型:发明

申请号:201810725557.X

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2018-07-04