一种三自由度大行程柔性纳米定位平台

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:机械工程学院

申请专利人:闫鹏

专利类型:发明

申请号:201510287783.0

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2015-05-29

公开日期:2016-08-31

授权日期:2016-08-31