专利名称：一种平面结构三自由度微纳定位平台及使用方法
所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：202011639070.3
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2020-12-31
公开日期：2021-11-19
授权日期：2021-11-19
发布时间：2021-11-15
闫鹏教授
暂无内容
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专利名称：一种平面结构三自由度微纳定位平台及使用方法
所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：202011639070.3
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2020-12-31
公开日期：2021-11-19
授权日期：2021-11-19
发布时间：2021-11-15