一种平面结构三自由度微纳定位平台及使用方法

发布时间:2021-11-15|点击次数:

所属单位:机械工程学院

专利类型:发明

申请号:202011639070.3

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2020-12-31

公开日期:2021-11-19

授权日期:2021-11-19