一种二维高精度压电定位平台及方法

发布时间:2023-09-09|点击次数:

所属单位:机械工程学院

专利类型:发明

申请号:202210310160.0

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2022-03-28

公开日期:2023-06-13

授权日期:2023-06-13