专利名称:一种二维高精度压电定位平台及方法
所属单位:机械工程学院
专利类型:发明
申请号:202210310160.0
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2022-03-28
公开日期:2023-06-13
授权日期:2023-06-13
发布时间:2023-09-09
专利名称:一种二维高精度压电定位平台及方法
所属单位:机械工程学院
专利类型:发明
申请号:202210310160.0
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2022-03-28
公开日期:2023-06-13
授权日期:2023-06-13
发布时间:2023-09-09