Integrated pressure sensor with large range and linear measurement based on SiO2 arrayed waveguide grating (AWG)

发布时间：2021-10-11

• 所属单位：
  信息科学与工程学院
• 发表刊物：
  Measurement
• 第一作者：
  尹锐
• 论文编号：
  1B9ABAE4EADA435E9DEC740523379FD5
• 卷号：
  170
• 是否译文：
  否
• 发表时间：
  2021-01