Integrated Ultrahigh-Sensitivity Temperature Sensor Based on Asymmetric Mach-Zehnder Interferometer and Stress Deformation of Aluminum-SiO2

发布时间：2023-10-28

• 所属单位：
  信息科学与工程学院
• 发表刊物：
  《IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT》
• 关键字：
  Mach-Zehnder interferometer;optical sensors;photonic integrated circuits;temperature sensor
• 第一作者：
  尹锐
• 论文编号：
  1478209176231481346
• 卷号：
  70
• 字数：
  3000
• 是否译文：
  否
• 发表时间：
  2021-01