高质量低成本8 英寸碳化硅材料与器件应用研究
点击次数:
所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:徐现刚
项目性质:纵向
项目级别:省、部委级
项目编号:F365BC17C58D28FBE053BE07C2CAC7F1
项目批准号:2022ZLGX02
立项时间:2022-11-01
开始日期:2022-11-01
计划完成时间:2025-12-31
结项日期:2025-12-31
高质量低成本8 英寸碳化硅材料与器件应用研究
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所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:徐现刚
项目性质:纵向
项目级别:省、部委级
项目编号:F365BC17C58D28FBE053BE07C2CAC7F1
项目批准号:2022ZLGX02
立项时间:2022-11-01
开始日期:2022-11-01
计划完成时间:2025-12-31
结项日期:2025-12-31