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山东大学
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张雷
正高级教师
所属院部:
晶体材料研究院
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专利
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一种用于电阻法氮化铝晶体生长炉的热场及其装配方法
所属单位:
晶体材料研究院
专利类型:
发明
申请号:
202010094944.5
发明人数:
4
是否职务专利:
否
公开日期:
2021-09-03
授权日期:
2021-09-03
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一种用于氮化铝单晶生长的籽晶粘接方法
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一种用于氮化铝单晶生长籽晶背部镀膜的方法
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