张雷
正高级教师
所属院部： 晶体材料研究院
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一种蓝 宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
  • 申请号：
    202110855731.4
  • 是否职务专利：
    否
  • 申请日期：
    2021-07-28
  • 公开日期：
    2021-11-09
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