张雷
正高级教师
所属院部： 晶体材料研究院
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一种用于GaN单晶生长衬底的处 理方法及处理装置
  • 申请号：
    202011504974.5
  • 是否职务专利：
    否
  • 申请日期：
    2020-12-18
  • 公开日期：
    2021-04-27
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