薄膜晶体管是构成大规模电子系统，如集成电路、存储器、主动矩阵显示器和传感器等的重要元件。课题组采用低温燃烧技术，通过有效地减少和抑制了可移动氢离子的影响，制备了频率稳定性的高k氧化铝薄膜。同时，基于此介电层制备的n型和p型薄膜晶体管具备可靠的传输特性以及可忽略的迟滞现象，有效地杜绝了迁移率过估的难题。该工作展示了一种新的制备高性能的介电层薄膜以及晶体管电路的设计思路。为实现低温溶液法制备的薄膜晶体管应用于光电子器件，传感器以及探测器提供了一个简单有效的途径。
Zhuang Xinming
Professor
庄昕明，山东潍坊人，山东大学集成电路学院研究员，齐鲁青年学者，山东省高层次人才。本科就读于电子科技大学（两电一邮）光电科学与工程学院电子科学与技术专业。硕士保送至本学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室，而后硕博连读于军胜（国家百千万人才工程入选者）课题组从事微纳器件与传感系统集成研究。2018年至2020年在美国西北大学Antonio Facchetti（美国工程院院士）课题组进行交流访问。2021年至2023年在山东大学做特别资助类博士后，并获得山东大学优秀博士后称... More+
Research Focus
低温溶液工艺制备高可靠性柔性薄膜晶体管
Click: