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Array structure of monocrystalline silicon surface processed by femtosecond laser machining assisted with anisotropic chemical etching

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所属单位：机械工程学院

发表刊物：Optics &Laser Technology

第一作者：王庆伟

论文编号：1737380911723769857

卷号：169

字数：5000

是否译文：否

发表时间：2024-02-01

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