教师简介

  陶继方:男,山东大学教授、博士生导师,2012年毕业于北京邮电大学(新加坡南洋理工大学联合培养),获得工学博士学位;2008-2012年,新加坡科技局微电子研究院和南洋理工大学 国际交换生/联合培养;2012-2013年,新加坡南洋理工大学博士后;2013-2014年,歌尔股份公司高级工程师、副总裁助理;2014-2018年;新加坡科技局微电子研究院 二级研究员、项目主管;2018-至今 山东大学 教授;长期从事微机电(MEMS)智能传感器和纳米硅光子器件的设计、加工和封装工艺的研究;曾获得新加坡国立研究基金、美国宝洁公司、新加坡科技局、德国博世集团、国家重点研发计划、山东省重点研发计划等项目及机构资助。

  近年来在Advanced Materials, Scientific Reports, Applied Physics Letters、IEEE-MEMS、Transducers、IEDM等国际权威期刊和国际会议上,发表学术论文50余篇,申请美国专利12项,中国发明专利6项。目前担任:Nanoscale、Optics Express、Journal of Selected Topics in Quantum Electronics、Optics Communications、Photonics Journal等期刊审稿人;IEEE会员、中国微米纳米技术学会会员;




教育经历
  • 2007-9 — 2012-6
    北京邮电大学
    工学
    研究生(博士)毕业
  • 2008-10 — 2012-6
    南洋理工大学
    工学
    研究生(博士)毕业
  • 2008-11 — 2012-5
    新加坡科技局微电子研究院
    微电子
    研究生(博士)毕业
工作经历
  • 2018-7 — 至今
     信息科学与工程学院  山东大学 
  • 2011-10 — 2012-8
     新加坡南洋理工大学 
  • 2012-7 — 2013-7
     新加坡南洋理工大学 
  • 2013-8 — 2014-5
     中央研究院  山东歌尔股份有限公司 
  • 2014-6 — 2018-10
     新加坡科技局微电子研究院 
研究概况

(一)智能MEMS传感器

基于半导体工艺的MEMS传感器芯片,具有一致性好、成本低、集成度高等优点,被广泛应用于汽车、工业、医疗、消费电子等各个领域。与此同时,随着物联网和5G技术的发展,低功耗、高性能、高集成度的智能传感器技术将飞速发展,需求也将大幅度增加。本方向重点研究:MEMS集成红外气体传感器芯片、超低功耗MEMS传感器芯片、MEMS流量传感器芯片、测/控一体式流量芯片等。



(二)纳米光机械传感器

继光学MEMS技术之后,基于纳米光机械系统(Nano-Opto-Mechanics System,NOMS)技术获得越来越多的重视。通过在毫米尺寸的硅基芯片上,集成激光器、探测器、多种无源光器件、机械敏感结构等,构建高效率的纳米光机械耦合系统,用于设计高精度微机械/微光学传感器芯片。本方向重点研究:抗冲击惯导芯片、片上光谱分析芯片、片上病毒检测等医疗和工业领域的片上集成光子芯片技术。


(三)集成硅光传感器

纳米硅光子是在CMOS工艺的基础上开发的新型高密度集成光电子器件,利用光信号代替电信号进行高速传输和数据处理,是一种前瞻颠覆性技术,在通信、传感以及集成电路设计中均有重要用途。本方向将聚焦硅光子器件中的光源集成领域,通过仿真和工艺开发,在激光器与硅光子芯片的混合集成问题中实现突破,同时研究硅光子芯片的设计和加工技术,面向高速光通信和智能传感。


 


研究方向
论文
专利
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