陶继方山东大学主页平台管理系统--山东大学MEMS传感器

教师简介

陶继方：男，山东大学教授、博士生导师，科技部重点研发计划评委、山东省重大创新工程先进传感器领域指南组组长。2012年毕业于北京邮电大学（新加坡南洋理工大学联合培养），获得工学博士学位；2008-2012年，新加坡科技局微电子研究院和南洋理工大学国际交换生/联合培养；2012-2013年，新加坡南洋理工大学博士后；2013-2014年，歌尔股份公司高级工程师、副总裁助理；2014-2018年；新加坡科技局微电子研究院二级研究员、项目主管；2018-至今山东大学教授；长期从事微机电（MEMS）智能传感器和纳米硅光子器件的设计、加工和封装工艺的研究；曾获得新加坡国立研究基金、美国宝洁公司、新加坡科技局、德国博世集团、国家重点研发计划、山东省重点研发计划等项目及机构资助。

近年来在Advanced Materials, Scientific Reports, Applied Physics Letters、IEEE-MEMS、Transducers、IEDM等国际权威期刊和国际会议上，发表学术论文60余篇，申请美国专利12项，中国发明专利6项。目前担任：Nanoscale、Optics Express、Journal of Selected Topics in Quantum Electronics、Optics Communications、Photonics Journal等期刊审稿人；IEEE会员、中国微米纳米技术学会会员；

教育经历

2007-9 — 2012-6

北京邮电大学

工学

博士
2008-10 — 2012-6

南洋理工大学

工学

无
2008-11 — 2012-5

新加坡科技局微电子研究院

微电子

无

工作经历

2018-7 — 至今

信息科学与工程学院山东大学
2011-10 — 2012-8

新加坡南洋理工大学
2012-7 — 2013-7

新加坡南洋理工大学
2013-8 — 2014-5

中央研究院山东歌尔股份有限公司
2014-6 — 2018-10

新加坡科技局微电子研究院

研究概况

（一）智能MEMS传感器

基于半导体工艺的MEMS传感器芯片，具有一致性好、成本低、集成度高等优点，被广泛应用于汽车、工业、医疗、消费电子等各个领域。与此同时，随着物联网和5G技术的发展，低功耗、高性能、高集成度的智能传感器技术将飞速发展，需求也将大幅度增加。本方向重点研究：MEMS集成红外气体传感器芯片、超低功耗MEMS传感器芯片、MEMS流量传感器芯片、测/控一体式流量芯片等。

（二）纳米光机械传感器

继光学MEMS技术之后，基于纳米光机械系统（Nano-Opto-Mechanics System，NOMS）技术获得越来越多的重视。通过在毫米尺寸的硅基芯片上，集成激光器、探测器、多种无源光器件、机械敏感结构等，构建高效率的纳米光机械耦合系统，用于设计高精度微机械/微光学传感器芯片。本方向重点研究：抗冲击惯导芯片、片上光谱分析芯片、片上病毒检测等医疗和工业领域的片上集成光子芯片技术。

(三)集成硅光传感器

纳米硅光子是在CMOS工艺的基础上开发的新型高密度集成光电子器件，利用光信号代替电信号进行高速传输和数据处理，是一种前瞻颠覆性技术，在通信、传感以及集成电路设计中均有重要用途。本方向将聚焦硅光子器件中的光源集成领域，通过仿真和工艺开发，在激光器与硅光子芯片的混合集成问题中实现突破，同时研究硅光子芯片的设计和加工技术，面向高速光通信和智能传感。