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山东大学
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王守志
教授
所属院部:
新一代半导体材料集成攻关大平台
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科研项目
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大尺寸GaN单晶衬底的生长与加工技术研发
发布时间:2025-09-06
项目名称:
大尺寸GaN单晶衬底的生长与加工技术研发
所属单位:
新一代半导体材料研究院
负责人姓名:
张雷
项目性质:
横向
项目编号:
360A91D6DA03936CE0635C00A8C0B272
立项时间:
2024-11-01
计划完成时间:
2032-12-31
结项日期:
2032-12-31
开始日期:
2024-11-01
发布时间:
2025-09-06
下一条:
高质量GaN单晶衬底生长
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