王守志
教授
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论文成果
Suitable AlN Source Shape for Optimizing Gas Mass Transfer During AlN Crystal Growth
  • 所属单位:
    新一代半导体材料研究院
  • 发表刊物:
    CRYSTAL GROWTH & DESIGN
  • 第一作者:
    曹文豪
  • 论文编号:
    33084341CA4E4925B450246B4410A205
  • 期号:
    566
  • 字数:
    6000
  • 是否译文:
  • 发表时间:
    2024-10-09
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