王守志
教授
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一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
  • 所属单位：
    新一代半导体材料研究院
  • 专利类型：
    发明
  • 申请号：
    202110855731.4
  • 发明人数：
    10
  • 是否职务专利：
    否
  • 申请日期：
    2021-07-28
  • 公开日期：
    2024-03-22
  • 授权日期：
    2024-03-22
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