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王守志
教授
所属院部:
新一代半导体材料集成攻关大平台
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专利
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一种一步烧结高质量氮化铝原料的方法
所属单位:
新一代半导体材料研究院
专利类型:
发明
申请号:
202211039523.8
发明人数:
4
是否职务专利:
否
申请日期:
2022-08-29
公开日期:
2023-10-24
授权日期:
2023-10-24
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