科研项目
面向半导体存储应用的BATCH ALD原子层沉积系统设计
  • 项目简要备注:
    企业横向,主持

上一条:冷喷涂防腐再修复关键技术研发

下一条:超高强韧汽车用钢的关键制造技术及产业化应用

版权所有   ©山东大学 地址:中国山东省济南市山大南路27号 邮编:250100 
查号台:(86)-0531-88395114
值班电话:(86)-0531-88364731 建设维护:山东大学信息化工作办公室