专利
一种半导体器件及其制造方法
  • 所属单位:
    新一代半导体材料研究院
  • 专利类型:
    发明
  • 申请号:
    202311605620.3
  • 发明人数:
    5
  • 是否职务专利:
  • 申请日期:
    2023-11-29
  • 公开日期:
    2024-03-01
  • 授权日期:
    2024-03-01

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