Effects of nitrogen flowrates on properties of TiSiN coatings deposited by arc ion plating combining with medium-frequency magnetron sputtering
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所属单位：机械工程学院
发表刊物：International Journal of Refractory Metals and Hard Materials
全部作者：邓建新
第一作者：邓建新
论文编号：lw-153979
卷号：42
页面范围：108
字数：5
是否译文：否
发表时间：2014-01-30
发表时间：2014-01-30