标题:
基于超声悬浮的晶圆自旋驱动机理及转角调控策略研究
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项目名称:
基于超声悬浮的晶圆自旋驱动机理及转角调控策略研究
所属单位:
控制科学与工程学院
负责人姓名:
吴疆
项目性质:
纵向
项目级别:
地(市、州)级
项目编号:
E188222850C56682E053BE07C2CA292D
项目批准号:
MSV202207
立项时间:
2022-01-01
计划完成时间:
2023-12-31
结项日期:
2023-12-31
开始日期:
2022-01-01
发布时间:
2024-04-16