所属单位：新一代半导体材料研究院
负责人姓名：徐现刚
项目性质：纵向
项目级别：省、部委级
项目编号：F365BC17C58D28FBE053BE07C2CAC7F1
项目批准号：2022ZLGX02
立项时间：2022-11-01
开始日期：2022-11-01
计划完成时间：2025-12-31
结项日期：2025-12-31