所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202410612021.2
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2024-05-17
公开日期：2024-09-03
授权日期：2024-09-03
申请日期： 2024-05-17
公开日期： 2024-09-03
授权日期： 2024-09-03