一种内延生长[100]取向TaON自支撑薄膜的制备方法
点击次数：
所属单位：晶体材料研究所
申请专利人：秦晓燕,王泽岩,张晓阳,王朋,刘媛媛,黄柏标
专利类型：发明
申请号：201810146344.1
发明人数：7
是否职务专利：否
申请日期：2018-02-12
公开日期：2019-07-23
授权日期：2019-07-23
公开日期：2019-07-23
申请日期：2018-02-12
授权日期：2019-07-23
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
出生日期：1962-10-21
毕业院校：山东大学
学历：硕士研究生毕业
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：晶体材料研究院
入职时间：1986-07-01
学科：物理化学
无机化学
材料物理与化学
材料学
电子邮箱：bbhuang@sdu.edu.cn
一种内延生长[100]取向TaON自支撑薄膜的制备方法
点击次数：
所属单位：晶体材料研究所
申请专利人：秦晓燕,王泽岩,张晓阳,王朋,刘媛媛,黄柏标
专利类型：发明
申请号：201810146344.1
发明人数：7
是否职务专利：否
申请日期：2018-02-12
公开日期：2019-07-23
授权日期：2019-07-23
公开日期：2019-07-23
申请日期：2018-02-12
授权日期：2019-07-23