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可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法
发布时间：2019-01-26
点击次数：
专利名称：
可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法
所属单位：
微电子学院
申请号：
201010129547.3
发明人数：
5
是否职务专利：
否
申请日期：
2010-03-23
发布时间：
2019-01-26
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提高AlGaN/GaN异质结场效应晶体管线性度的方法
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确定GaN 异质结场效应晶体管栅下势垒层应变的方法
