可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法
点击次数：
所属单位：微电子学院
发明设计人：孟令国,邢建平,蒋然,王卿璞
申请号：201010129547.3
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2010-03-23
申请日期：2010-03-23
教授
性别：男
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
入职时间：2003-12-08
可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法
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所属单位：微电子学院
发明设计人：孟令国,邢建平,蒋然,王卿璞
申请号：201010129547.3
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2010-03-23
申请日期：2010-03-23