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可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法

发布时间：2019-04-15
点击次数：
专利名称：
可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法
所属单位：
微电子学院
专利类型：
发明
申请号：
201010129547.3
发明人数：
5
是否职务专利：
否
申请日期：
2010-03-23
公开日期：
2011-11-09
授权日期：
2011-11-09
发布时间：
2019-04-15

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