专利名称:一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用
所属单位:晶体材料研究所
专利类型:发明
申请号:2015100148287
发明人数:14
是否职务专利:否
申请日期:2015-01-12
公开日期:2018-02-13
授权日期:2015-01-12
发布时间:2018-12-06
专利名称:一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用
所属单位:晶体材料研究所
专利类型:发明
申请号:2015100148287
发明人数:14
是否职务专利:否
申请日期:2015-01-12
公开日期:2018-02-13
授权日期:2015-01-12
发布时间:2018-12-06