一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用

发布时间:2018-12-06|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

专利类型:发明

申请号:2015100148287

发明人数:14

是否职务专利:否

申请日期:2015-01-12

公开日期:2018-02-13

授权日期:2015-01-12