一种利用激光远程激发微米尺度的微悬臂梁探针共振的方法

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

申请专利人:刘铎

专利类型:发明

申请号:201210441902.X

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2012-11-07