一种利用双光束干涉辅助湿法腐蚀实现发光二极管表面图形制备的方法

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

申请专利人:刘铎

专利类型:发明

申请号:201210583234.4

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2012-12-28