所属单位：光学高等研究中心
论文名称：Three-Dimensional (3D) Nondestructive Characterization of the Spatial Distribution and Complex Properties of Polytypes on 4H-SiC Wafers
发表刊物：ACS Applied Electronic Materials
第一作者：王猛达
论文编号：1843556221445050369
卷号：6
期号：9
页面范围：6857-6867
字数：8
是否译文：否
发表时间：2024-09