所属单位：

微电子学院

负责人姓名：

李玉香

项目状态：

结题

项目来源单位：

5E470481-351B-46FC-A309-821B4385D570

研究类别：

科研

项目性质：

超临界二氧化碳微乳液在半导体纳米器件清洗技术中的应用

项目来源：

省、市、自治区科技项目

项目级别：

省、部委级

项目参与人员：

李玉香,肖洪地,刘建强,赵丽丽,李玉香,李玉香

项目编号：

3514

学科门类：

工学

一级学科：

电子科学与技术

立项时间：

2008-01-01

计划完成时间：

2010-12-31

结项日期：

2010-12-31

开始日期：

2008-01-01

项目批准号：

8GG3003007