集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业研发
发布时间:2018-05-21
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- 所属单位:
- 微电子学院
- 负责人姓名:
- 王卿璞
- 项目状态:
- 结题
- 项目来源单位:
- 08信息产业厅
- 研究类别:
- 科研
- 项目性质:
- 纵向
- 项目来源:
- 地、市、厅、局等政府部门项目
- 项目级别:
- 省、部委级
- 项目参与人员:
- 王卿璞,王卿璞,李玉香
- 项目编号:
- 4811
- 学科门类:
- 工学
- 一级学科:
- 电子科学与技术
- 立项时间:
- 2008-09-01
- 计划完成时间:
- 2010-12-31
- 结项日期:
- 2010-12-31
- 开始日期:
- 2008-09-01
- 项目批准号:
- 2008R0048