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集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业研发

发布时间:2018-05-21
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所属单位:
微电子学院
负责人姓名:
王卿璞
项目状态:
结题
项目来源单位:
08信息产业厅
研究类别:
科研
项目性质:
纵向
项目来源:
地、市、厅、局等政府部门项目
项目级别:
省、部委级
项目参与人员:
王卿璞,王卿璞,李玉香
项目编号:
4811
学科门类:
工学
一级学科:
电子科学与技术
立项时间:
2008-09-01
计划完成时间:
2010-12-31
结项日期:
2010-12-31
开始日期:
2008-09-01
项目批准号:
2008R0048