超临界二氧化碳用于半导体纳米器件清洗和刻蚀工艺的研究
发布时间：2018-05-15
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- 所属单位：
- 微电子学院
- 负责人姓名：
- 李玉香
- 项目状态：
- 结题
- 项目来源单位：
- 国家基金委
- 研究类别：
- 科研
- 项目性质：
- 纵向
- 项目来源：
- 国家自然科学基金项目
- 项目级别：
- 国家级
- 项目参与人员：
- 李玉香,李玉香,李玉香,李玉香,蒋然
- 项目编号：
- 13346
- 学科门类：
- 工学
- 一级学科：
- 电子科学与技术
- 立项时间：
- 2009-01-01
- 计划完成时间：
- 2011-12-30
- 结项日期：
- 2011-12-30
- 开始日期：
- 2009-01-01
- 项目批准号：
- 60876075