所属单位：

微电子学院

负责人姓名：

冯先进

项目来源单位：

2021年山东省自然科学基金

项目性质：

纵向

项目级别：

省、部委级

项目编号：

D44107FD1E830AD2E053BE07C2CA0A82

立项时间：

2021-12-23

计划完成时间：

2024-12-31

结项日期：

2024-12-31

开始日期：

2022-01-01

项目批准号：

ZR2021MF028