可用于下一代光电器件的Beta-氧化镓单晶薄膜的制备及性质研究
发布时间：2024-04-16
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- 所属单位：
- 集成电路学院
- 负责人姓名：
- 肖洪地
- 项目来源单位：
- 2018年山东省重点研发计划（公益性科技攻关类）
- 项目性质：
- 纵向
- 项目级别：
- 省、部委级
- 项目编号：
- kyxm-69244
- 立项时间：
- 2018-04-01
- 计划完成时间：
- 2020-12-31
- 结项日期：
- 2020-12-31
- 开始日期：
- 2018-04-01
- 项目批准号：
- 2018GGX102024