可用于下一代光电器件的Beta-氧化镓单晶薄膜的制备及性质研究
点击次数:
所属单位:集成电路学院
负责人姓名:肖洪地
项目来源单位:2018年山东省重点研发计划(公益性科技攻关类)
项目性质:纵向
项目级别:省、部委级
项目编号:kyxm-69244
项目批准号:2018GGX102024
立项时间:2018-04-01
开始日期:2018-04-01
计划完成时间:2020-12-31
结项日期:2020-12-31
可用于下一代光电器件的Beta-氧化镓单晶薄膜的制备及性质研究
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所属单位:集成电路学院
负责人姓名:肖洪地
项目来源单位:2018年山东省重点研发计划(公益性科技攻关类)
项目性质:纵向
项目级别:省、部委级
项目编号:kyxm-69244
项目批准号:2018GGX102024
立项时间:2018-04-01
开始日期:2018-04-01
计划完成时间:2020-12-31
结项日期:2020-12-31