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科研项目
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钛酸锌和锡酸锌单晶薄膜的异质外延生长及性质研究
发布时间:2024-04-16
点击次数:
所属单位:
集成电路学院
负责人姓名:
马瑾
项目来源单位:
国家基金委
项目性质:
纵向
项目级别:
国家级
项目编号:
kyxm-69433
立项时间:
2018-08-16
计划完成时间:
2022-12-31
结项日期:
2022-12-31
开始日期:
2019-01-01
项目批准号:
51872169
下一条:
可用于下一代光电器件的Beta-氧化镓单晶薄膜的制备及性质研究