钛酸锌和锡酸锌单晶薄膜的异质外延生长及性质研究
点击次数:
所属单位:集成电路学院
负责人姓名:马瑾
项目来源单位:国家基金委
项目性质:纵向
项目级别:国家级
项目编号:kyxm-69433
项目批准号:51872169
立项时间:2018-08-16
开始日期:2019-01-01
计划完成时间:2022-12-31
结项日期:2022-12-31
钛酸锌和锡酸锌单晶薄膜的异质外延生长及性质研究
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所属单位:集成电路学院
负责人姓名:马瑾
项目来源单位:国家基金委
项目性质:纵向
项目级别:国家级
项目编号:kyxm-69433
项目批准号:51872169
立项时间:2018-08-16
开始日期:2019-01-01
计划完成时间:2022-12-31
结项日期:2022-12-31