所属单位：

微电子学院

发表刊物：

Journal of Electronic Materials

全部作者：

毛宏志,栾彩娜,刘建强,马瑾

第一作者：

肖洪地

论文类型：

基础研究

论文编号：

DBE67F01DB544898847C76A91BEC549C

卷号：

48

页面范围：

3036

是否译文：

否

发表时间：

2019-02-01