Structure and Optical Properties of Epitaxial Indium Oxide Films Deposited on Y-Stabilized ZrO2 (111) by MOCVD
发布时间:2019-10-24
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- 所属单位:
- 集成电路学院
- 发表刊物:
- Journal of ELECTRONIC MATERIALS
- 全部作者:
- 马瑾,栾彩娜,冯先进
- 第一作者:
- 马瑾
- 论文编号:
- lw-171209
- 字数:
- 4
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2015-08-05