一种高质量钛铁矿结构偏钛酸锌单晶薄膜及其制备方法与应用
点击次数:
所属单位:微电子学院
专利类型:发明
申请号:202111219940.6
发明人数:2
是否职务专利:否
申请日期:2021-10-20
公开日期:2022-07-19
授权日期:2022-07-19
公开日期:2022-07-19
申请日期:2021-10-20
授权日期:2022-07-19
一种高质量钛铁矿结构偏钛酸锌单晶薄膜及其制备方法与应用
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所属单位:微电子学院
专利类型:发明
申请号:202111219940.6
发明人数:2
是否职务专利:否
申请日期:2021-10-20
公开日期:2022-07-19
授权日期:2022-07-19
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申请日期:2021-10-20
授权日期:2022-07-19