一种高质量钛铁矿结构偏钛酸锌单晶薄膜及其制备方法与应用

发布时间:2022-07-30
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所属单位:
微电子学院
专利类型:
发明
申请号:
202111219940.6
发明人数:
2
是否职务专利:
申请日期:
2021-10-20
公开日期:
2022-07-19
授权日期:
2022-07-19