一种高质量锡酸锌单晶薄膜及其制备方法

发布时间:2021-10-09
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所属单位:
微电子学院
专利类型:
发明
申请号:
201910536407.9
发明人数:
2
是否职务专利:
公开日期:
2020-11-27
授权日期:
2020-11-27